坂口电热加热棒应用案例：赋能屹唐半导体快速热处理设备高精度温控
一、项目背景与需求
北京屹唐半导体是半导体前道设备供应商，其核心产品 Helios® 系列快速热处理设备（RTP）与 Millios® 系列毫秒级退火设备，应用于 10nm 及以下制程晶圆退火、氧化等工艺，需在毫秒 - 秒级实现 1000℃+ 快速升降温，且晶圆温度均匀性需控制在 ±1℃内，同时满足半导体洁净、低污染、长寿命加热需求。坂口电热加热棒凭借精准控温、快速响应、洁净加热等优势，成为屹唐半导体该类设备的核心加热部件供应商。
二、适配设备与加热棒选型
应用设备：屹唐半导体 Helios® 系列常规 RTP 设备、Millios® 系列毫秒级退火设备（晶圆双面加热模块、腔室壁辅助加热系统）。 加热棒选型：选用坂口电热石英红外加热棒（型号如 4RC 系列）与陶瓷加热棒（型号如 S-I 系列），适配设备真空腔室与快速加热场景，具体参数如下： | 参数 | 规格 | | ---- | ---- | | 加热方式 | 红外辐射加热 + 接触式辅助加热 | | 额定功率 | 单支 500W-3kW（按腔室分区匹配功率密度）| | 额定电压 | AC200V/380V（适配设备工业电源）| | 温度范围 | 室温 - 1200℃（满足退火工艺温度需求）| | 控温精度 |±0.5℃（搭配屹唐温控系统）| | 材质 | 石英管 / 陶瓷外壳 + 镍铬发热丝（耐高温、抗污染、绝缘性优）| | 安全认证 | 符合半导体洁净标准，无颗粒污染 |展开剩余75%三、技术方案与实施
安装布局：加热棒呈环形均匀分布于晶圆载物台周围，配合双面辐射加热设计，实现晶圆全域均匀受热，避免热应力导致的晶圆变形。 温控协同：加热棒与屹唐自研温控模块联动，支持毫秒级响应，快速升降温（5-10 秒达目标温度），满足快速热处艺节拍。 洁净保障：加热棒外壳采用高纯石英 / 陶瓷材质，无挥发物，适配半导体真空洁净环境，降低工艺污染风险。四、应用效果与价值
五、客户反馈
屹唐半导体设备部评价：坂口电热加热棒的精准控温与快速响应特性，匹配快速热处理设备的严苛工艺要求，助力设备在制程产线稳定运行，提升客户满意度与市场竞争力。
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2026/01/28
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