坂口电热加热棒应用案例：赋能屹唐半导体快速热处理设备高精度温控
一、项目背景与需求
北京屹唐半导体是半导体前道设备供应商，其核心产品 Helios® 系列快速热处理设备（RTP）与 Millios® 系列毫秒级退火设备，应用于 10nm 及以下制程晶圆退火、氧化等工艺，需在毫秒 - 秒级实现 1000℃+ 快速升降温，且晶圆温度均匀性需控制在 ±1℃内，同时满足半导体洁净、低污染、长寿命加热需求。坂口电热加热棒凭借精准控温、快速响应、洁净加热等优势，成为屹唐半导体该类设备的核心加热部件供应商。
二、适配设备与加热棒选型
应用设备：屹唐半导体 Helios® 系列常规 RTP 设备、Millios® 系列毫秒级退火设备（晶圆双面加热模块、腔室壁辅助加热系统）。 加热棒选型：选用坂口电热石英红外加热棒（型号如 4RC 系列）与陶瓷加热棒（型号如 S-I 系列），适配设备真空腔室与快速加热场景，具体参数如下： | 参数 | 规格 | | ---- | ---- | | 加热方式 | 红外辐射加热 + 接触式辅助加热 | | 额定功率 | 单支 500W-3kW（按腔室分区匹配功率密度）| | 额定电压 | AC200V/380V（适配设备工业电源）| | 温度范围 | 室温 - 1200℃（满足退火工艺温度需求）| | 控温精度 |±0.5℃（搭配屹唐温控系统）| | 材质 | 石英管 / 陶瓷外壳 + 镍铬发热丝（耐高温、抗污染、绝缘性优）| | 安全认证 | 符合半导体洁净标准，无颗粒污染 |展开剩余75%三、技术方案与实施
安装布局：加热棒呈环形均匀分布于晶圆载物台周围，配合双面辐射加热设计，实现晶圆全域均匀受热，避免热应力导致的晶圆变形。 温控协同：加热棒与屹唐自研温控模块联动，支持毫秒级响应，快速升降温（5-10 秒达目标温度），满足快速热处艺节拍。 洁净保障：加热棒外壳采用高纯石英 / 陶瓷材质，无挥发物，适配半导体真空洁净环境，降低工艺污染风险。四、应用效果与价值
五、客户反馈
屹唐半导体设备部评价：坂口电热加热棒的精准控温与快速响应特性，匹配快速热处理设备的严苛工艺要求，助力设备在制程产线稳定运行，提升客户满意度与市场竞争力。
深圳电商商业股份有限公司（简称电商集团）成立于2009年，是香港电商集团在中国的全资分公司，位于深圳市南山前海金融区，注册资本壹亿元，主营业务涵盖国际贸易、医辽、汽车、半导体、投资理财、互联网等领域。集团在香港已建立完善的渠道网络，丰富的领域资源，密切的协作，大方面保障了公司业务的顺利发展。秉承“行业多元化，水准国际化，服务专业化”的“三化”服务理念，利用其国际化的专业知识体系、精细化的服务流程、高性能的服务水准，为客户提供高性价比的产品和立体化解决方案。集团的采购商品来自美国、德国、瑞士、法国、意大利、日本、韩国，并建立了分公司，从而取得优势的产品货源，以及即时的产品讯息。集团服务客户已超过万家，并获得了百家国际品牌代理。
深圳电商商业股份有限公司在工作机械、产业系统、FA自动化、化学品、电子测量、环境测试、科学分析仪器、机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材等广泛的领域内，充分利用集团的营销网络和丰富的供应链优势，在众多客户和供应商之间构筑着专业、快捷的一站式综合服务平台。
SAKAGUCHI坂口电热，IMAO今尾，日本无机，NITTO日东工器，NBK锅屋，SUGIYAMA杉山电机，FREEBEAR福力百亚、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧铄科、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器 日本AMANO安满能 、日本有光ARIMITSU、日本镰仓制作所、 日本KOTOHIRA、CHIKO智科、SHOWA昭和电机、OHM欧姆电机、YODOGAWA锭川、SUIDEN瑞电、MURAKOSHI村越、RYOUSEI菱正、MUTO武藤、YHB、SINTO新东、瑞典ALFI、O-DEN、HORKOS、KOTOHIRA、NIVAC、KOKI日立工機，HOND A本 田技研工業，HITACHI日立産機システム，ELEPHANT象印チェンブロック，MAXPULLマックスプル工業，TOSEI,東正車輌㈱，KAWAHARA,㈱河原，SANKIN,サンキン㈱，SANKO,㈱，YAMATEC,山金工業㈱，FUSO,扶桑金属工業㈱，OKAMURA,㈱岡村製作所，HOKUSHO,ホクショー㈱，KAINAN,㈱カイナン，IHI,㈱IHI，KOBELCO,コベルココンプレッサ㈱，ANEST,アネスト岩田㈱，DAITO SEIKI,大東製機(株）/大東精機(株），FUJI KAGAKU,富士科学器械㈱，STORAPACK/STRAPACK,ストラパック㈱，BISHAMON,㈱スギヤス，MAKINO,㈱マキノ，SPACIO,スペーシア㈱，TAIYU,㈱大阪タイユ－，UNIFLOW,㈱ユニフロー，JAM,日本オートマチックマシン㈱，KOMATSU,コマツ産機㈱，URAWA,浦和工業㈱，KARCHER,ケルヒャージャパン㈱，TEMCO，JF,日本フェンス㈱，YAMAHA，ヤマハ発動機㈱，ENOMOTO，榎本ピーエー㈱，SANSHIN，三進金属工業㈱。多家品牌认证。
电商集团在消费者当中享有较高的地位，公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。
深圳电商商业股份有限公司会恪守“诚信、品质、快速、贴心”的服务宗旨，不断提升专业的技术服务水平，与客户及供应商实现共同发展。通过减少中间环节，并提供便利的配送服务，将实惠和安心送到每一个客户的手中。
深圳电商商业股份有限公司
2026/01/28
发布于：江西省美港通证券提示：文章来自网络，不代表本站观点。
相关文章
沪深京行情 实时轮播
热点资讯
