
坂口电热加热棒应用案例:赋能屹唐半导体快速热处理设备高精度温控
一、项目背景与需求
北京屹唐半导体是半导体前道设备供应商,其核心产品 Helios® 系列快速热处理设备(RTP)与 Millios® 系列毫秒级退火设备,应用于 10nm 及以下制程晶圆退火、氧化等工艺,需在毫秒 - 秒级实现 1000℃+ 快速升降温,且晶圆温度均匀性需控制在 ±1℃内,同时满足半导体洁净、低污染、长寿命加热需求。坂口电热加热棒凭借精准控温、快速响应、洁净加热等优势,成为屹唐半导体该类设备的核心加热部件供应商。
二、适配设备与加热棒选型
应用设备:屹唐半导体 Helios® 系列常规 RTP 设备、Millios® 系列毫秒级退火设备(晶圆双面加热模块、腔室壁辅助加热系统)。 加热棒选型:选用坂口电热石英红外加热棒(型号如 4RC 系列)与陶瓷加热棒(型号如 S-I 系列),适配设备真空腔室与快速加热场景,具体参数如下: | 参数 | 规格 | | ---- | ---- | | 加热方式 | 红外辐射加热 + 接触式辅助加热 | | 额定功率 | 单支 500W-3kW(按腔室分区匹配功率密度)| | 额定电压 | AC200V/380V(适配设备工业电源)| | 温度范围 | 室温 - 1200℃(满足退火工艺温度需求)| | 控温精度 |±0.5℃(搭配屹唐温控系统)| | 材质 | 石英管 / 陶瓷外壳 + 镍铬发热丝(耐高温、抗污染、绝缘性优)| | 安全认证 | 符合半导体洁净标准,无颗粒污染 |展开剩余75%三、技术方案与实施
安装布局:加热棒呈环形均匀分布于晶圆载物台周围,配合双面辐射加热设计,实现晶圆全域均匀受热,避免热应力导致的晶圆变形。 温控协同:加热棒与屹唐自研温控模块联动,支持毫秒级响应,快速升降温(5-10 秒达目标温度),满足快速热处艺节拍。 洁净保障:加热棒外壳采用高纯石英 / 陶瓷材质,无挥发物,适配半导体真空洁净环境,降低工艺污染风险。四、应用效果与价值
五、客户反馈
屹唐半导体设备部评价:坂口电热加热棒的精准控温与快速响应特性,匹配快速热处理设备的严苛工艺要求,助力设备在制程产线稳定运行,提升客户满意度与市场竞争力。
深圳电商商业股份有限公司(简称电商集团)成立于2009年,是香港电商集团在中国的全资分公司,位于深圳市南山前海金融区,注册资本壹亿元,主营业务涵盖国际贸易、医辽、汽车、半导体、投资理财、互联网等领域。集团在香港已建立完善的渠道网络,丰富的领域资源,密切的协作,大方面保障了公司业务的顺利发展。秉承“行业多元化,水准国际化,服务专业化”的“三化”服务理念,利用其国际化的专业知识体系、精细化的服务流程、高性能的服务水准,为客户提供高性价比的产品和立体化解决方案。集团的采购商品来自美国、德国、瑞士、法国、意大利、日本、韩国,并建立了分公司,从而取得优势的产品货源,以及即时的产品讯息。集团服务客户已超过万家,并获得了百家国际品牌代理。
深圳电商商业股份有限公司在工作机械、产业系统、FA自动化、化学品、电子测量、环境测试、科学分析仪器、机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材等广泛的领域内,充分利用集团的营销网络和丰富的供应链优势,在众多客户和供应商之间构筑着专业、快捷的一站式综合服务平台。
SAKAGUCHI坂口电热,IMAO今尾,日本无机,NITTO日东工器,NBK锅屋,SUGIYAMA杉山电机,FREEBEAR福力百亚、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧铄科、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器 日本AMANO安满能 、日本有光ARIMITSU、日本镰仓制作所、 日本KOTOHIRA、CHIKO智科、SHOWA昭和电机、OHM欧姆电机、YODOGAWA锭川、SUIDEN瑞电、MURAKOSHI村越、RYOUSEI菱正、MUTO武藤、YHB、SINTO新东、瑞典ALFI、O-DEN、HORKOS、KOTOHIRA、NIVAC、KOKI日立工機,HOND A本 田技研工業,HITACHI日立産機システム,ELEPHANT象印チェンブロック,MAXPULLマックスプル工業,TOSEI,東正車輌㈱,KAWAHARA,㈱河原,SANKIN,サンキン㈱,SANKO,㈱,YAMATEC,山金工業㈱,FUSO,扶桑金属工業㈱,OKAMURA,㈱岡村製作所,HOKUSHO,ホクショー㈱,KAINAN,㈱カイナン,IHI,㈱IHI,KOBELCO,コベルココンプレッサ㈱,ANEST,アネスト岩田㈱,DAITO SEIKI,大東製機(株)/大東精機(株),FUJI KAGAKU,富士科学器械㈱,STORAPACK/STRAPACK,ストラパック㈱,BISHAMON,㈱スギヤス,MAKINO,㈱マキノ,SPACIO,スペーシア㈱,TAIYU,㈱大阪タイユ-,UNIFLOW,㈱ユニフロー,JAM,日本オートマチックマシン㈱,KOMATSU,コマツ産機㈱,URAWA,浦和工業㈱,KARCHER,ケルヒャージャパン㈱,TEMCO,JF,日本フェンス㈱,YAMAHA,ヤマハ発動機㈱,ENOMOTO,榎本ピーエー㈱,SANSHIN,三進金属工業㈱。多家品牌认证。
电商集团在消费者当中享有较高的地位,公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。
深圳电商商业股份有限公司会恪守“诚信、品质、快速、贴心”的服务宗旨,不断提升专业的技术服务水平,与客户及供应商实现共同发展。通过减少中间环节,并提供便利的配送服务,将实惠和安心送到每一个客户的手中。
深圳电商商业股份有限公司
2026/01/28
发布于:江西省美港通证券提示:文章来自网络,不代表本站观点。